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  • 學位論文

鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄

A Study of On-chip In-Situ Chamber Recorders for Plasma Induced Damage Effect in Advanced FinFET Technologies

指導教授 : 林崇榮
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因申請專利緣故,資料延後公開

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plasma induced damage FinFET Antenna Effect

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