利用熱蒸鍍法合成摻雜鋁之氧化鋅奈米結構與特性探討

Synthesis and Properties of Al-doped ZnO Nanostructures by Thermal Evaporation

林坰青(Qing Lin)

指導教授 ： 施漢章

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2007年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2007.00482

摘要

本工作主要在研究利用熱蒸鍍法蒸鍍鋅粉來合成摻雜鋁的氧化鋅奈米結構並研究其特性，我們分別嘗試了3種不同的方式作為摻雜鋁的來源，分別是在基板上灑佈鋁粉、在基板上濺鍍鋁膜、在鋅粉中添加氯化鋁水溶液，探討不同鋁來源對我們成長氧化鋅的影響並探究是否成功摻雜，本實驗製程在500°C下通入氬氣100 sccm維持氣壓1 Torr合成氧化鋅，升溫速率為每分鐘25°C，到達加熱溫度後始通入氧氣5 sccm，持溫時間為20分鐘。FESEM表面形貌觀察中發現3種不同的氧化鋅奈米結構，由HRTEM觀察中發現氧化鋅晶格常數c為0.5 nm，從Raman光譜分析中可發現本實驗合成之氧化鋅分子振動訊號，陰極激發光譜(Cathodoluminescence spectrum, CL spectrum)顯示出在紫外光範圍皆有很強的訊號，而同時含有黃綠光範圍的訊號之氧化結構則顯示其結構中仍存在有氧空缺的缺陷，藉由化學分析電子儀分析，顯示在灑佈鋁粉基板上所成長的氧化鋅結構是成功摻雜鋁的。

關鍵字

摻雜鋁氧化鋅 ； 熱蒸鍍 ； 陰極激發光

參考文獻

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