檢視老舊晶圓廠房現況及強化緊急應變系統概述

陳麒元

《工業安全衛生》 341期 (2017/11) Pp. 26-41

https://doi.org/10.6311/ISHM.2017.341.5

摘要

半導體產業的投資額龐大，動輒數百億元，同時其產值也非常高。但由於台灣經濟發展的不景氣，各企業在建新廠或併購廠房的動作都趨緩了。因此老舊晶圓廠為跟上市場變化及需求，都被賦予了加速製程變動及產能擴充的使命，在變動及改造的過程中，建物結構及設備必須承受新增的負荷，製程及廠務設備在既有規劃下進行擴充及修改，在進行的過程中，必定衍生許多可見或潛在的危害因子，若製程或廠務設備一旦發生異常事故，再加上原有建物結構變更及偵測防護系統未發揮功能下，除了可能導致設備損壞、環境污染外，嚴重時可能造成人員傷亡及財產損失，更甚至造成公司營運中斷。但由於老舊晶圓廠，廠齡皆逾三十年左右，由於先進製程難以提升，毛利率難與12吋晶圓廠競爭，在投資效益的考量上，企業會傾向將資金投注在建新廠及購置既有廠房上。在此種氛圍上，除了就適法性的問題，可立即要求投注資源進行廠區改善外，要促使企業投注資源於損害防阻的建設或偵測防護系統的設置，就顯得困難了。因此找出老舊廠房製程及廠務設備的各種危害因子，是風險從業人員刻不容緩的挑戰。老舊晶圓廠在無法改善又須與風險共存的條件下營運生產，緊急應變就成了是工廠的最後一道防線。當事故發生時，指揮官的指令及幕僚人員正確的建議，可以立即消弭災害，但錯誤或緩慢的處置可能造成更大的災害。本文旨在探討老舊晶圓廠待改善的現況，在無法立即改善的條件下，要如何強化緊急應變系統，提供執行作法，以便老舊晶圓廠能在事故發生初期，以適當的處理讓事故限制、衰減至最小，確保廠房能持續營運。