Study of the pH-ISFET and EnFET for Biosensor Applications

許多感測材料（例如：氮化鋁、非晶形三氧化鎢、非晶形矽氫、鈦酸鉛、氧化鋁、氧化鉭、氮化矽、氧化錫...等）已經被研究且應用於酸鹼離子感測場效電晶體(pH-ISFET)元件上。在此論文由相關文獻中，我們報告氮化鋁、鈦酸鉛、氧化鋁、氧化鉭、氮化矽、和氧化錫可以分別在酸鹼溶液中(pH1~12)進行感測，而非晶形三氧化鎢與非晶形矽氫則可於酸性溶液中(pH1~7)進行感測。此外，在此論文中我們亦提出一種新型分離式結構的延伸閘極場效電晶體(EGFET)，此結構是一種改良式延伸閘極場效電晶體，而氧化錫被當成此結構中的感測膜，同時並將酵素固定在氧化錫薄膜上，應用於生醫感測器(biosensor)中。

關鍵字

氮化鋁；非晶形三氧化鎢；離子感測場效電晶體；分離式結構；生醫感測器

並列摘要

There are several sensing materials (such as: AlN, a-WO3, a-Si:H, PbTiO3, Al2O3, Ta2O5, Si3N4, SnO2...) have been investigated and applied for the pH-ISFET devices. In this review article, we report that the AlN, PbTiO3, Al2O3, Ta2O5, Si3N4 and SnO2 can be detected in the pH=1~12, and the a-WO3 and a-Si:H were applied in acid buffer solutions (pH=1~7). In addition, we introduced a novel separative structure of EGFET, this structure is an improvement of extended gate structure ISFET, and the tin oxide thin film (SnO2) was prepared as a pH sensing membrane and firstly immobilized the enzyme on the tin oxide pH-sensitive film for the biosensor application.

並列關鍵字

AlN ； a-WO3 ； ISFET ； Separative structure ； Biosensor

被引用紀錄

蔡侑霖（2007）。晶圓層次之離子敏感型場效電晶體效能分析與流體注入式應用〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200700710

陳政成（2003）。以二氧化錫薄膜製作陣列式酸鹼感測元件之研究〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200300289

范錦達（2003）。免疫感測器與積體化溫度感測元件之製作〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200300286

國際替代計量

Study of the pH-ISFET and EnFET for Biosensor Applications

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