半導體製程技術是半導體公司競爭力的來源,而製程技術必須與製程管理相輔相成,才能發揮企業優勢以提昇企業競爭力,此外半導體製造系統複雜,管理在生產過程中更是不可或缺,隨著製程的改進與電腦輔助系統的進步,管理者可以藉由績效指標來協助決策,以客觀、有效的衡量目前的生產情況,並優化現況、規劃願景,利用建構指標層級架構有組織的了解指標之間的關係,提供資訊給決策者作為評估績效、製程管制與監控時的參考根據,隨著全球產業競爭越來越激烈,製程管理考量的層面必須越來越廣以解決更大的問題,然而少有文獻同時探討財務指標與現場指標之關係,並同時以這兩種指標作為管理與評估的標準,因此本研究以財務指標為目標,探討其與現場指標之關係以建構指標層級架構,串連財務與現場指標架構其影響關係,使財務指標能由上而下解構成現場指標,而現場指標能由下而上整合而影響財務指標,讓決策者可以了解其因果關係以綜觀全局,針對企業可能會遇到的狀況,例如景氣、價格波動等等,利用龍捲風圖進行多個單因子的敏感度分析,探討在不同的情況下需重視的指標及提出指標管制建議,最後所得的各階段結果建議,亦可以預先知道改善該指標對於目標的影響,使管理者在瞬息萬變的產業情況下仍然能持續追求企業目標、提昇競爭力。