致動器概念。另一方面,感測器為此系統輸出的應用。當系統中的微機械結構受到外在環境影響得以運動或變形,進而影響輸出的電訊號改變。此即為微機電感測器之概念[1]。 微機 doi:10.6342/NTU201703244 17 Udeshi等人團隊[13]於2004年提出以利用平面熱電式致動器所形成的直流驅動全機械結構之振盪器,藉由熱
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