軸載台之中心點設立量測點,觀察其 X、Y 方向之位移情形,如圖 6。 六、網格化設定:將 Pro/Engineer 建立之幾何圖形轉 換 至Pro/Mechanic進 費補助方得完成,特此致謝。 6. 參考文獻 [1]http://www.sodick.jp/company/index.html [2]謝明宏,“應用線馬之微機電與晶
機電微機電微機電晶片晶片晶片晶片精密線精密線精密線精密線性性性性馬馬馬馬達達達達定位平台之結構設計與模態分析定位平台之結構設計與模態分析定位 ::::微機電精密定位平台、模態分析。 1. 前言前言前言前言 隨著產品微小化及精密化之需求,使得微機電製程成為二十一世紀核心精密製造技術之一。其加工方式為應用半
。 6. 參考文獻 [1]http://www.sodick.jp/company/index.html [2]謝明宏,“應用線馬之微機電與晶片精密定位平台動態分析”,碩士論文 氣體軸承導軌線性馬達與滾珠軸承導軌線性馬達在微機電精密定位平台之模態比較分析 李卓嶺 許展維 王宜明 國立彰化師範大學機電工程學系 E-mail: m96632018
[6]研發出利用史考特–羅素連桿機構的平面三自由度微奈米定位平台,利用三組撓性放大機構以環狀分佈放置,撓性放大機構能夠有效放大工作平台之位移量,使工作平台進行長行程的的位移 ANSYS 進行結構與各項條件的分析。對於 ANSYS 軟體的分析,制定了一套分析流程,如圖 6 所示,為了使定位裝置擁有最大的位移行程之能力,利用壓電致動器具有微奈米之位移解析能
射鏡之相對位置,每個元件都有六軸維度需要調整並上膠固定,最後將各雷射光點加以疊合,以合光透鏡輸入光纖。由於每個元件在顯微鏡下,以人工調整六軸夾置平台進行作業,需耗費大量時 後,移開夾治具。 J. 重複 A~I 之動作,直到六片鏡組皆耦光對位並點膠固化完成。 微精密平台設計及量測 參考既有微型精密構裝及量測研究[9, 10],微精密平台設計
67二維微奈米定位平台之窄距葉簧式導引機構 Two-dimensional Micro/Nano-positioning-stage with a Narrow-span 的研究課題。 II. 運動導引之撓性機構 撓性機構是指運用材料的彈性變形,以提供高精確性的移動機制,具有無機械摩擦、無間隙、加工簡單等優點,尤其適合微奈米定位技術。因為
±10-6/K),與 2 組線性馬達搭配,做為定位與同動控制之參考基準。光學尺採用類比式弦波讀頭,可分割較小的解析度且速度較不受限。2. 結構變形分析與設計優化此平台在初步 2020 年 6 月 71黏晶用精密定位平台技術與應用光電半導體產業設備技術專輯黏晶用精密定位平台技術與應用Technology
態分析。 1. 前言前言前言前言 隨著產品微小化及精密化之需求,使得微機電製程成為二十一世紀核心精密製造技術之一。其加工方式為應用半導體製造技術來微小化機 械元件、機械系統及生化透析系統等。微機電系統之元件大多數需要數層結構疊合而成,在疊合過程中,對位及接合技術乃相當重要之技術。故,微機電定位技術扮演製程過程中相當重要的角色
先進工程學刊 第六卷 第三期 Journal of Advanced Engineering Vol. 6, No. 3, pp. 169-175 / July 2011 術也將成為奈米科技發展中最關鍵技術之一,奈米定位平台的微定位技術是奈米技術發展的關鍵與基礎,因具有微米級工作空間及奈米級解析的操作平台是量測及製造奈米元件的關鍵技術之一
超越市售產品之性能。 關鍵字:掃描探針顯微術、定位系統、高速、長行程、壓電積層元件、連續式驅動原理、撓性放大結構、全像式光學讀取頭 ........................................................................................................ 6 2 第二章 長行程高速奈米定位平台之架構與概念設計 ............................................. 7 2.1 三軸平台
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