………………………………………………………..…………49 圖4.10使用YBa2Cu3O7-δ 成長在鈦酸鍶基板上之 XRD圖…………………………………………………….50 圖 4.11 bare SQUID 示意圖 。 以下為製作人工晶界方法 圖 1.1 人造晶界製作方式 (a) 多晶法 在基板上沉積多晶薄膜,薄膜會產生許多晶界,不過此種方式產生之晶界不易控制其狀況,比如說控制晶
電路上的電壓是外加磁通之週期性函數,其磁通週期與直流 SQUID 之電壓與磁通相同,即 F0。射頻SQUID 工作頻率範圍約在 20 MHz 至 10 GHz 之間。低溫 方式有兩類,其中之一則是直接耦合 SQUID 磁量計(10)。 研 製 在 面 積 為 10 ¥ 10 mm2 基 板 上 的SQUID,約有 8 ¥ 8 mm2 磁場
在本論文中,探討以磁控濺鍍系統製備YBa2Cu3O7 (YBCO)薄膜在回收雙晶基板上的製程且利用此製程方式成功製作出高品質的高溫超導量子干涉元件磁量計。在實驗過程中,使用化學 freguency (RF)濺射系統將YBCO薄膜沉積在STO雙晶基板 (22.6° 和30°的錯位角)上,臨界溫度Tc和臨界電流密度Jc分別為88 K和0.7 MA / cm2。在蝕刻過程中,使用Ar離子轟擊蝕刻出SQUID電路圖案。 觀察到在STO上c軸取向的YBCO薄膜取決於生長溫度。然後,隨YBCO薄膜上沿著c軸的方向比例的增加,YBCO的傳輸特性增加。但是較高的薄膜生長溫度會使局部YBCO晶界處形成山丘狀的弱連接。在這種情況下,可以從電阻-溫度曲線上觀察到接近Tc(offset)的足部彎曲狀電阻。因此,對於良好的約瑟芬結> 20 μV,磁通量雜訊頻譜在溫度77 K下100 Hz時的磁通雜訊低於15 µΦ0/Hz1/2,其此高溫超導量子元件的良率可高於90%。
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