置,使金屬光柵同時具備極化與彩色濾波的功能。 首先,我們討論單層鋁膜光柵之結構參數對極化光篩選的特性,設計不同鋁膜厚度、線寬大小、週期,以及金屬孔隙覆蓋比例等參數加以討論,得 膜不具有共振腔結構,無法對穿透波段作有效篩選,因此我們以多層對準技術製作雙層金屬光柵,且雙層鋁膜間的氧化矽層可作為極化光之共振腔,藉由層間相對平移量改變為週期的四分之一和二分
ii 中文摘要 微奈米壓印技術在結構複製上具備高解析、高產能、低成本且可製作大面積等優勢,然而微奈米壓印技術在壓印膠體成型結構後,容易在結構與結構之間留下殘 溫的製程,稱為加熱型濕式轉印,讓結構尖端尚未固化的膠體擠入模穴,得到低殘留層的轉印結果,並以雷射共軛焦顯微鏡進行量測,討論其成型結果與膠體旋轉塗佈厚度之關係,確立製程,並且找
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