22 【光學工程 第一○三期 97.10】 綠‧色‧能‧源‧光‧電‧元‧件‧與‧系‧統‧專‧欄 表面粗化 LED 之發光效率專欄 具粗化及高反射鏡面基板 術將磊晶薄膜轉移於高反射鏡面之矽基板,進而製作具高散熱與高取光率之高效率氮化鎵發光二極體。文中將針對粗化製程對取光率之影響作一詳盡之探討。 ■關鍵字:圖案化基板、雙面粗化
膠固化後,將元件浸泡於約 100℃之熱水中,鎵受熱熔化成液態狀並藉由超音波震盪使鎵成水滴狀分散於熱水中,即完成 LED 基板轉置。 3.4.5 LED 表面粗糙化後轉置 的訊號逐漸減弱原因推測可能為光激發後螢光經過粗糙化的表面呈現散亂的折射,因此隨著彎曲增加實際在收光範圍內被接受的螢光卻逐漸減少,相較之下,MQW 層經過蝕刻後相對完整,隨著
、可實現、表面傷害少,且具備高抗反射率之表面結構,才能達到其穿透率之提升效益。 由於氮化鎵基板經過乾蝕刻後,其表面形貌與濕蝕刻相比較為粗糙,因此有機會降低氮化鎵基板之光 單層 100 nm 的二氧化矽小球,在 400 nm 700 nm 的可見光波段中,量測到穿透率皆有提升之效果。即便入射光於 60 度斜向入射基板下,鋪設單層小球之基板穿
炫光,驗證我們已有鋪設大面積緊密排列的單層小球技術。 本文也完成氮化鎵三角柱共振腔之製作與光學特性量測。透過自組小球顯影、光致化學蝕刻與氫氧化鉀晶面削蝕製程的結 合,製作非極性晶面之氮化鎵次微米三角柱,具有高品質平滑的晶面側壁。在 266 nm 雷射入射下,得到半高寬 0.4 nm 的單模共振放光,其 Q 值達 1000以上,Gth
............................................................................................. 11 圖 2.4 介面不均之侷域化效應 電產業成為了高科技產業中最重要的產業之一,在半導體光電產業的相關研究中,目前具有藍綠高度發光效率材料,除了已被看好的氮化鎵(GaN)(藍紫色發光材料)外,還包含近年來快速發
,為了提高發光二極體的發光效率最常見的方法是將晶粒上的發光側邊作表面粗化或是對藍寶石基板進行表面蝕刻,而圖形化藍寶石基板是在磊晶成長前設計特殊結構在藍寶石基板上製作出有規則的 了電燈,這時的光源照明才漸漸起了重大的變化,在 1906年愛迪生將電燈利用鎢來代替碳作為燈絲的發明,讓之後的通用電器以廉價的鎢作為燈絲開始製成電燈泡,這種鎢絲燈泡便被使用到現
......................................10 圖 3- 4 (a)液相燒結時之晶粒粗化現象,(b)潤濕液相所引起之固相晶粒吸引現象 粒子的中心互相拉近而達到緻密化的效果。 液相燒結的最後階段為晶粒粗化過程,此時整個固相架構已經形成,由於溶解再析出過程的持續進行,導致晶粒成長、晶粒形狀調適及最終空隙之消
備不同性質之氧化亞銅薄膜,藉由改變退火溫度以形成單晶相之氧化亞銅,使用穿透光譜分析光學特性,XRD與 SEM 探討薄膜的組成比例和表面結構,顯示出隨著氧氣比例增加,晶體成長 ....................................................................................... 22 3.3.2 氧化亞銅薄膜之製備 .................................................................. 22
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