真空科技 十九卷四期 ( )■ 研究論文 ■雙離子束濺鍍系統之原理及應用郭仲儀*、張書綺、林信儒、林克偉 國立中興大學材料工程學系* E-mail address 真空科技 十九卷四期 (5)雙離子束濺鍍系統之原理及應用和靶材上所濺射出的原子產生反應,形成氧化物而沉積在基材上,藉此達到離子束輔鍍的效果。或者可於製程前,利用低能量
為了持續優化網站功能與使用者體驗,本網站將Cookies分析技術用於網站營運、分析和個人化服務之目的。
若您繼續瀏覽本網站,即表示您同意本網站使用Cookies。