團隊所設計和製作的兩種CMOS-MEMS 微共振器,即梳狀式可調變頻率微共振器(17) 與平板式高頻微機械共振器(18)。1. 梳狀式可調變頻率微共振器筆者研究團隊所 。五、結論本文已針對 CMOS-MEMS 微共振器的設計和製作流程做詳細介紹,筆者研究團隊利用 CMOS-MEMS 技術所製作完成的兩種微共振器,梳狀式可調變頻率微共振器與
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