本研究係以觸媒氧化塔輔以臭氧,將含有二甲苯之廢氣通過臭氧/觸媒之系統,再以洗滌塔將廢氣洗滌,探討其臭氧/觸媒系統以及洗滌塔之廢氣中二甲苯之處理效率。單純洗滌塔對於二甲苯之處理效率約略高於20%,輔以觸媒可將系統之處理效率則提升至50%。效率提升之機制可能爲觸媒中官能基吸收二甲苯,輔以臭氧後,則整個系統之處理效率可大幅提昇至80%,臭氧/觸媒有機物之氧化力與單獨臭氧相差不大,但因臭氧亦爲一種污染物,因此,後續仍應注意直接由煙道氣排放出之臭氧濃度,而觸媒之存在,對於臭氧可能有分解之效果,對於後續之污染防治有正面助益,但進一步機制仍需後續研究。