摘要
近年來由於平面顯示器(Flat Planel Display, FPD)的普及化，已逐漸取代傳統之陰極射線管(Cathodic Ray Tabe, CRT)顯示器，原因在於其具有無輻射、省電、不佔空間等優點。同時隨著3C產品之輕、薄、短小化及奈米尺度材料應用之白熱化，如何發展技術與製程應用於奈米材料之製作，已成為當下產業界之重要課題。 另一方面在傳統產業方面所需之染料、塗料及油墨之產品粒徑需求只要達到微米級粒徑，同時此類產品的單價較低，所以研發比較不受到重視。但目前國內上述大部分之傳統產業業者，已逐漸將其產品從傳統之微米級尺寸產品應用領域，轉型到高科技所需之奈米級尺寸產品所需之材料，如平面顯示器(FPD)所需之彩色光阻(Color Resist)、印表機所需之噴墨或碳粉、被動元件、光電產業及生化產業所需之奈米級材料等，因上述高科技所奈米級尺寸之材料單價較高，每公斤約為千至數萬元，且不同產品或廠家所需之規格亦不同，所以研發技術與製程便成為產業轉型之重要課題。 在全球FPD市場不斷擴大下，透明導電薄膜的應用領域及需求量也不斷地擴大，而良好的薄膜特性除了要有精密及穩定的濺鍍設備及製程技術外，更需要穩定性高優良的透明導電氧化物(Transparent Conducting Oxide, TCO)濺鍍靶材的搭配。本文將簡單介紹TCO材料之發展、奈米粉末特性與製備方式，以及本實驗室所進行相關透明導電氧化物奈米粉末的研究，以期對這個研究領域及相關產業有興趣之讀者，提供一些參考之資訊。