摘要
近年來，台灣在半導體及液晶面板業者積極投資擴建下，已成為全球主要生產製造地區，隨台灣薄膜太陽能電池陸續投產，對四氫化矽的需求也將呈倍數增加。而全球需求量2008年為2,200公噸，到2011年估計將成長至4,100公噸，但是目前台灣四氫化矽全部仰賴進口，面對國內產業龐霸之需求，如何更安全與經濟有效以維持四氫化矽供應之穩定便為一不能忽視之重要課題了。基此；本研究主要針對大宗四氫化矽氣體洩漏火災爆炸模擬與後果分析。 本案模擬所使用的軟體為美國環保署所推薦的ALOHA軟體，而儲存容器材目前國際上ISO模組及管是拖車單管鋼瓶之最大體積2633公升為依據，並以不同孔徑之洩壓閥(PRD)（1、7/8與3/8英吋）模擬不同儲存壓力洩漏可能引發之後果（目前軟體僅能模擬至1000psi），本案模擬壓力從600psi至1000psi，並依據不同之大小破裂孔徑探討噴射火焰長度、熱輻射為37.5、12.5至4(kw/平方公尺)之危害範圍、爆炸壓力為6、3.5與1(psi)爆炸波及範圍等火災爆炸危害衝擊模擬出。 此外；為能模擬實際產業所使用1500psi-1600psi之洩漏危害，本案亦將具自燃特性之四氫化矽在不同洩漏口徑，在鋼瓶壓力在1100psi-1600psi可能引發之噴射火焰危害，藉由對數趨勢之外插法推估出。這些資訊除能對四氫化矽供應製程危害預防與控制之設計與評估有所助益外。亦期望本研究成果能提供國內四氫化矽相關主管機構作為修訂現行法規與制定四氫化矽生產、製造與儲存危害預防止引之重要參考依據。