高科技半導體廠之機電設計概論

李若瑟

《土木水利》 46卷6期 (2019/12) Pp. 18-23

https://doi.org/10.6653/MoCICHE.201912_46(6).0004

摘要

高科技半導體廠之機電系統一般也稱為MEP（Mechanical, Electrical and Plumbing）系統。半導體廠與生產直接相關的系統有無塵室（Cleanroom）；純水、氣體與化學（Process Critical）；製程冷凝水、製程排氣、製程真空等（Process Support）。除此之外，都歸於機電（MEP）系統內。機電系統主要含電力系統、冰水系統、溫水系統、一般空調系統、消防系統、給水系統等。