摘要
那什麼是高科技呢？「高科技」在國內外有很多單位賦予不同的定義。國際經濟合作發展組織（OPED）曾將航太科技、藥品配製、電腦資訊、通訊器材和科學儀器等定義為高技術產業。行政院經濟規劃委員會（CEPD）亦曾因地制宜，將高技術產業分為六個類別。包括積體電路、光電儀器、生物醫學、遠距通訊、精密機械、和電腦週邊設備。融合各方之定義，高科技產業定義可以包括微電子、光電、精密儀器、電子通訊、奈米科技、藥品配製、微生物研究、醫療設備、動物實驗、航太科技等產業。在資訊科技突飛猛進的時代，不論在那個高科技產業，其背後所需之核心產品就是半導體，用半導體製作出來的元件，將細緻複雜的軟體程式連結，最後啟動使用端高科技產品之應用。因此，本專輯所討論的高科技廠房是以製作半導體晶圓之廠房為例，期望藉此例，讓讀者更具體地瞭解，廠房係任何高科技製造成敗的重要伙伴，說明其如何輔助高科技製造的各機要系統及其一般的運作方式。