表面聲波SAW化學感測器

Surface Acoustic Wave Sensors

吳朗(Long Wu) ； 沈季燕(Chi-Yen Shen) ； 沈煜棠(Yu-Tang Shen)

《化學》 59卷2期 (2001/06) Pp. 279-286

https://doi.org/10.6623/chem.2001033

摘要

在一光滑的壓電材料表面上建構兩個指叉狀轉換器，就可以很容易的激發出及接收到表面聲波。若在這兩個指叉狀轉換器之間塗上一層分析感測用的薄膜，就可構成表面聲波感測器。薄膜所吸附的分子種類及數量均會影響到波傳特性。這些波傳特性的變化可經由測量表面聲波振幅及相位角的改變來得知。

關鍵字

表面聲波元件 ； 化學感測器 ； 壓電效應 ； 質量加載效應

並列摘要

Surface acoustic waves are easily propagated along the smooth surface of the piezoelectric materials. The interdigital transducers on the surface serve as transmitter and receiver of the acoustic wave. Surface molecules predictably affect the wave propagation. Circuitry has been built to measure such interactions by changes in amplitude or phase-angle shift of the surface acoustic wave.

並列關鍵字

surface acoustic wave ； chemical sensor ； piezoelectric effect ； mass loading effect