CMOS-MEMS神經感測探針之設計與製作

Design and Fabrication of CMOS-MEMS Neural Recording Probes

何孟翰(Meng-Han Ho)

指導教授 ： 盧向成

國立清華大學/電機資訊學院/電子工程研究所/碩士(2006年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2006.00352

摘要

無資料

關鍵字

互補氏金氧半微機電製程 ； 感測放大器 ； 神經紀錄探針 ； 深反應離子蝕刻

參考文獻

approach to extracellular microelectrodes,”IEEE Transactions

[4] K. D. Wise and K. Najafi,“A micromachined integrated sensor

[6] K. Najafi and K. D. Wise, “An implantable multielectrode array with on-chip signal processing,”IEEE Journal of Solid-State Circuits,Vol.26,No.3,pp.433-443,Mar 1992.

[7] S. J. Tanghe and K. D. Wise,“A 16-channel CMOS neural stimulating array,”IEEE Journal of Solid-State Circuits,Vol.27,pp.1819-1825,Dec. 1990.

[8] C. Kim and K. D. Wise, “A 64-site multishank CMOS low-profile neural stimulating probe,” IEEE Journal of Solid-State Circuits,Vol.31,pp.1230-1238,Sept. 1996.