高頻之矽基板氮化鋁鎵/氮化鎵鰭狀閘極高電子遷移率電晶體設計與製作

Design and Fabrication of AlGaN/GaN Fin-gate HEMTs on Silicon Substrates for High Frequency Applications

蔡有泰(You-Tai Tsai)

指導教授 ： 徐碩鴻

國立清華大學/電機資訊學院/電子工程研究所/碩士(2020年)

摘要

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關鍵字

高頻 ； 氮化鎵 ； 矽基板 ； 鰭狀閘極 ； 高電子遷移率電晶體

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並列關鍵字

High Frequency ； GaN ； Silicon Substrates ； Fin-gate ； HEMTs

參考文獻

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