無塵室用FFU之出風氣流性能量測與分析

The Measurement and Analysis of Airflow Characteristics of a Fan Filter Unit (FFU)

胡石政(S. C. Hu) ； 李昇榮(S. R. Lee) ； 林瑋義(W. I. Lin) ； 詹皇烈(H. L. Chan)

《冷凍與空調》 9期 (2001/06) Pp. 117-125

https://doi.org/10.7087/JRACT.200106.0117

摘要

FFU(Fan Filter Unit)系統爲目前半導體廠內無塵室最常使用的送風系統單元，爲使廠內獲得最佳的氣流分佈，FFU之出風氣流性能優劣扮演著極重的角色，而FFU之性能好壞則是取決於內部的設計是否恰當。品質良好之FFU應具有高平均風速、高出風均勻度等特點，所以本研究將利用這些性能參數。去評估FFU在五種不同內部設計情況下。對其本身性能的影響程度。
在研究的結果中顯示，FFU在有裝設導流板的情況下，其平均速度及均勻度皆會比未加裝導流板的情況下來的好，並且可以解決FFU未加裝導流板時會在過濾器兩端產生局部大風速之問題，還有，如果FFU內部無裝設Volute或Deflector的話，會使流場分佈極不均勻且靜電會增加。