風機濾網機組(Fan Filter units. FFU)可提供無壓室所需之潔淨且單一方向的氣流。其主要由風機、氣流導引裝置及高性能效率過器(High Efficiency Particulate Air Filter. HEPA)等原件組合而成。EEU之性能可由其流量、機外靜歷、功率消耗及出風均勻度等幾項要素決定。而這些要素則與FFU內部之氣流導引裝置設計有關。因此本文乃利用数值方法来模機EEU在不同的氣流導引裝置設計條件下.對其性能之影響程度。研究結果顯示若FFU在沒裝置導引葉片(Guide Vane)的情況下。會在濾網入口邊緣産和局部的高速風速。因此可能會進一步的造成濾網的損壞。另外若增加導流器(Deflector)與過滬濾器之間的距離。則可有效的提昇FFU之出風均勻度。另外本研究也將實際量測到之FFU壓力與流量曲線國與摸機之結果比較。結果顯示兩者有著非常好的一致性。