以流場速度差劃分無塵室工作區之可行性

Feasibility of Dividing Working Areas in Cleanroom by Flow Velocity Difference

陳俊杰(Chun-Chieh Chen) ； 李延青(Yen-Ching Lee) ； 鄭名山(Ming-Shan Cheng)

《冷凍與空調》 23期 (2003/10) Pp. 93-99

https://doi.org/10.7087/JRACT.200310.0093

摘要

本文主要探討風扇濾網機組(Fan Filter Unit: FFU)系統之無塵室，利用FFU個別出風量差異劃分工作區域方式的可行性。雖有文獻[1]以電腦模擬無塵室流場的方式進行探討，然本文將以實驗方式針對無塵室內實際粒子擴散的狀態進行檢驗。分析以流場內風速速度差所劃分出來的工作區域對於較低清靜等級區域高濃度污染的阻絕效果，並找出工作區域內FFU HEPA出口風速與較低清靜等級區域內FFU HEPA出口風速的最佳搭配。