閉迴路控制在半導體廠空調系統的進階應用研究

Research on Further Applications of Closed-loop Control Loop to Air Conditioning System in Semiconductor Fab.

范聖豐(Joseph Fan) ； 劉兆仁(James Liu) ； 陳錦章(John Chen) ； 徐文斌(W.B. Shyu) ； 曾錦鍊(Lyman Tseng) ； 柯宗榮

《冷凍與空調》 35期 (2005/10) Pp. 83-89

https://doi.org/10.7087/JRACT.200510.0083

摘要

本文研究閉迴路控制於半導體廠空調系統的應用，以雙迴路控制模式應用在潔淨室相對濕度的控制及冷卻水塔的節能控制、變頻器加減機控制模式應用在排氣風機及製程冷卻水泵啓停的控制、回授失效保護控制模式應用在水路供應壓力的控制。這些進階應用控制模式，改善了一般單迴路控制模式因回授信號不穩定或異常時需人爲修正的問題，維持？定的空調供應品質並使系統運轉更有效率。

關鍵字

空調系統 ； 閉迴路控制 ； 雙迴路控制 ； 變頻器加減機控制 ； 回授失效保護控制