潔淨室系統節能設計與運轉探討

Clean Room System Design to Economize the Use of Energy and Operation Research

謝宗勳

《冷凍空調與能源科技雜誌》 80期 (2013/04) Pp. 64-72

摘要

本文目的為在不影響潔淨室生產環境前提下，變更傳統潔淨室設計與運轉方式來降低潔淨室耗電量，方法為採用將軸流式風車（Fan）與乾盤管（Dry Coil）結合成為循環風機乾盤管系統方式，設計、模擬、測試等階段逐一檢討採用風車過濾單元（Fan Filter Unit）原配置方式及採用風車與乾盤管配置方式後潔淨室系統溫度、流場等循環狀況，經測試完成後確認於已量產高科技廠房可維持潔淨室內清淨度，且有效處理機台所產生熱負荷之狀況。在無塵室面積14,000m^2環境下潔淨室，採用新型風車與乾盤管方式實際量測值較原有設計值耗電量可減少155KW，達到節能效果。

關鍵字

循環風機乾盤管 ； 溫濕度 ； 潔淨室 ； 氣流模擬