本文報告以橢圓儀、ATR-IR及反射吸收(RA)IR光譜研究自動組合之烷基三氯矽烷在SiO_2/Si與氧化鋁表面上形成單分子層之結構與特性。不同長度之直鏈型烷基三氯矽烷由十六烷溶液中吸附至矽晶片以及鋁片表面形成規則並緊密排列之單層薄膜厚度與矽燒鏈長呈綫性關係。亞甲基伸張振動吸收峯頻率遷移的結果,顯示在C12與C14鏈長之間,薄膜發生液態/固態之相轉變。由兩種矽烷形成混合單層時,薄膜之組成與溶液組成相同,但在較短矽烷為主的溶液中,較短成分優先吸附。
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