摘要
設計一套真空系統做A.抽氣時間對腔體壓力、B.利用壓力回昇法、氦氣測漏儀計算腔體漏氣率、C.固定氣流通量，氣導對腔體壓力D.改變氣流通量對腔體壓力、E.渦輪分子幫浦轉速對腔體壓力等五項真空實驗，比較實驗數據結果與真空理論的關係。在A實驗中可明顯觀察出水氣含量對壓力造成的影響。在B實驗中採用壓力回昇法與氦氣測漏儀比較兩者量測值結果比較。在C實驗中，通入定量的氮氣，改變閥門圈數以氣導為變數，觀察出管路兩端的壓力差變化。在D實驗中，改變通入氣體量，觀察出氣導與壓力的變化。在E實驗中，固定氣流通量下，藉由變更渦輪分子幫浦轉速改變幫浦抽氣速率，觀察其壓力的變化。由本真空系統與設計之實驗觀察出實際量測值與理論值之關係。
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無資料延伸閱讀
- 吳德虎（2009）。以知識結構為基礎的動態評量適性診斷系統之研發-以五年級小數乘法單元為例〔碩士論文，亞洲大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0118-1511201215461360
- 高明瑞、楊東震（2002）。比較宗教與非宗教醫院志工組織認同與組織承諾之研究－以五家醫院為例。醫務管理期刊，3(2)，49-60。https://doi.org/10.6174/JHM2002.3(2).49
- 毛菁華（2004）。學生人格類型與校園經驗之研究－以致理技術學院五專部為例。輔導季刊，40(4)，48-58。https://doi.org/10.29742/GQ.200412.0006
- 周旻邑、莊詒婷（2009）。宏觀鑑定模式在五國實施狀況之探析。圖書與資訊學刊，(70)，93-104。https://doi.org/10.6575/JoLIS.2009.70.07
- 鄧宇哲（2015）。建築場景: 現象感知與空間情境構成邏輯 – 以五個模型為例〔碩士論文，國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2015.00352