鋁合金超高真空系統之研究

Study of the Aluminum Ultrahigh Vacuum Chambers

楊佳螢(Chia-Ying Yang) ； 許憲能(Shen-Nung Shu) ； 陳慶隆(Ching-Lung Chen) ； 張進春(Chin-Chun Chang) ； 熊高鈺(Gao-Yu Hsiung) ； 陳俊榮(June-Rong Chen)

《真空科技》 21卷3&4期 (2008/12) Pp. 39-43

https://doi.org/10.29808/JVSROC.200812.0006

摘要

現今工業技術蓬勃發展，真空技術已廣泛應用在各種領域，不管是最為熱門的光電半導體產業或是一般民生食品加工業，真空技術都扮演著不可或缺的角色。鋁合金具質輕物廉、熱導性佳與加工成形容易等優點，適合拿來當成真空腔體材料，本文將概述鋁合金材料應用在超高真空系統上所必須注意的事項，其中包括材料表面處理、銲接及真空性能研究。

關鍵字

鋁合金 ； 超高真空 ； 氧化層

並列摘要

Vacuum technology has been widely used in our life, especially in the electronic industrial. Aluminum alloys are suitable for vacuum chamber material for its light weight, high conductivity and easy to machine. In this paper, we describe the aluminum ultrahigh vacuum systems and focus on the surface treatment, welding, and vacuum performance.

並列關鍵字

aluminum alloys ； ultrahigh vacuum ； oxide layer