本文針對光電元件的薄膜應力量測技術發展歷史沿革作一介紹,可知光電元件的基板發展從早期硬性的矽與玻璃基板到軟性電子所使用的PET、PC等可撓性基板,材料特性也從玻璃基板鍍膜的等向性應力量測發展到高分子基板鍍膜的非等向性應力量測,應力量測的方法包含懸臂樑法、牛頓環法、X-ray繞射法、干涉法、投影光柵法、陰影疊紋法以及光彈法將在本文逐一探討。
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