應用於矽晶太陽電池的原子層沉積設備模組與系統開發

本文介紹一非真空原子層沈積設備技術，藉由說明數個關鍵模組研發過程，探討該技術，最後並藉由驗證該設備生產之薄膜品質，確認設備功能性。藉由本研究提供產業界以較低成本建置產線的選擇，創造提昇產品性價比的機會。在再生能源持續追求的光電轉換效率、土地效益、功率效益、減碳效益之外，藉由優化本土化設備設計及生產技術提昇與現有矽晶電池產線之設備替換率，進一步降低因採用國外品牌設備而產生較高的研發生產成本。本文中將對非真空原子層沈積設備及其關鍵模組開發技術進行介紹，針對關鍵的原子層沈積陣列式氣體噴頭模組與流體、前驅物進料配置、薄膜品質檢測製程技術進行說明，藉此建構一非真空原子層沈積設備平台，將可用於進行6吋晶圓大小的太陽電池元件開發。