二維過渡金屬硫化物的製程技術開發

Process technology development of 2D transition metal dichalcogenides

李承澤(Cheng-Tse Lee) ； 楊伯康(Po-Kang Yang)

《真空科技》 35卷2期 (2022/06) Pp. 22-29

摘要

隨著科技不斷的進步，為了大眾化和攜帶輕便為優先考量，電子裝置轉以輕薄短小、低耗能、多功能為主要需求，而其中的關鍵便是新穎材料的開發。近年來，過渡金屬硫化物（Transition metal dichalcogenide, TMDC）作為一極具潛力的新穎材料，因其具備二維材料尺度上的優勢、能帶結構的可調控性、奈米尺度下之柔韌性，已收到相當多的關注。另外，二維材料能以不同材料或相異的堆疊方式組成的異質結構，讓單一材料的特點能藉由不同材料的組成進行改良，甚至是優化，也讓未來商用電子產品的發展前景更加讓人期待。

關鍵字

二維材料 ； 過渡金屬硫化物 ； 化學氣相沉積 ； 異質結構

並列摘要

With the continuous scientific advancement, electronic devices need to be with low power, lightweight, and multi-functionality. To achieve these goals, develop a novel material candidate will be a key approach. Transition metal dichalcogenide (TMDC), owing to its scalabiity, structural tunability, and flexibility, has received great attentions. Moreover, hetero-structure from two different material combinations is another advantage of TMDC enabling a more promising future for commercial electronics to be expected.

並列關鍵字

2D materials ； transition metal dichalcogenides ； chemical vapor deposition ； heterostructure