摘要
掃描穿隧顯微鏡是研究奈米科學的利器，本文詳述其工作原理與儀器架構，將儀器分為機械硬體系統、電子控制系統與電腦影像系統等三大系統，並細分每一系統為數個元件，詳述各元件的工作原理與相互連接操作方式；又舉幾個元件為例，詳述其製作的方式與製作流程之注意事項。自製儀器雖是繁複的學問，卻是解決龐大維修費與達到一流研究成果的唯一途徑。
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Scanning tunneling microscope is the most powerful instrument to study science at the nano scale. We introduce the principle of operation and instrumentation of scanning tunneling microscope. Instrumentation is separated into three main parts, i. e. mechanical design, electronic controller, and computer programming. We describe the composing elements in detail and illustrate the fabrication technique for some components. Instrumentation is one way to save money as maintaining your machine, and it is the only way to initiate high level research work.
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羅元彥（2006）。使用掃描式穿隧電子顯微鏡觀測NPB吸附在矽(111)-7×7表面情形〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2006.02512
黃以德（2015）。奈米尺度鎳金屬點陣與非晶矽基材之界面反應研究〔碩士論文，國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-0412201512093784
延伸閱讀
- 余柏韋（2020）。自製掃描式穿隧電子顯微鏡之進針系統自動化與改良〔碩士論文，國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0030-1504202111260005
- 李其叡（2004）。超高真空掃描穿隧顯微鏡用壓電致動器之設計開發與特性分析〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2004.01076
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- Lu, C. P. (2014). 二維材料以及超導鐵硒碲傳輸和掃描穿隧式顯微鏡的研究 [doctoral dissertation, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2014.03159
- 賴枝文（2007）。Study on Transmission type Laser-scanning Angular Deviation Microscope〔碩士論文，國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-1501201314421474