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真空儀器科學與技術研究發展
The Development of Vacuum Instrument Science and Technology
摘要
本文簡介真空儀器科技相關真空元件、設備、薄膜製程及真空檢校等技術領域之研究歷程並展望未來方向。
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The development of vacuum instrument such as device, equipment, thin film process, and vacuum calibration followed by the introduction to future direction in vacuum science and technology was described.
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無資料延伸閱讀
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