金屬有機化合物安全資料表適用性評估

The Applicability Assessment of Metal-Organic Compounds' Safety Data Sheet

陳旺儀(Wang-Yi Chen) ； 陳振和(　Jeng-Ho Chen) ； 劉立文(Li-Wen Liu) ； 張振平(Cheng-Ping Chang) ； 李文亮(William Wen-LianLee)

《勞工安全衛生研究季刊》 19卷4期 (2011/12) Pp. 533-542

https://doi.org/10.7005/JOSH.201112.0002

摘要

近年來，全球科技加速發展，創新製程使用的新興材料與化學品激增，卻無法獲得足夠安全資訊，以完成基本的危害性風險評估。2010年3月，某發光二極體製造廠火災事故，磊晶製程使用金屬有機化合物三甲基鎵（(CH3)3Ga）意外洩漏，致靜電或機台設備產生火花點燃三甲基鎵，是引發火災主要災因之一。金屬有機化合物易與空氣與水劇烈反應，災因調查顯示，產商掌握安全資訊的不足，管線設計失當。尤其是供應商並沒有提供，或無法提供正確內容的物質安全資料表是不容忽視的關鍵問題。本調查研究藉由蒐集20家積體電路、薄膜電晶體液晶顯示器、發光二極體及太陽光電等4項產業磊晶製程使用金屬有機化合物現況，建立快速執行初步危害特性分析作業的方法，以因應產業界獲得正確安全資訊的需求。首先將物質安全資料表16項內容，概略區分為4個群組，危害辨識、危害特性分析、危害應變措施及危害預防控制。透過現場訪視調查，進行物質安全資料表適用性評估，結果顯示業者使用金屬有機化合物，對安全資料表中安定性與反應性，毒性資料，洩露處理，滅火措施，急救措施，暴露預防措施，及安全處置與儲存等安全健康資訊的正確性，均有高度的疑慮。訪視調查結果再經專家會議共同研商，初步完成金屬有機化合物物質安全資料修正流程，除可做為新興材料引進時，建立GHS模式之安全資料表參考，亦可滿足產業界對危害應變及危害預防控制的迫切需要。透過蒐集10種金屬有機化合物，共45份物質安全資料表的比對分析，參考多種國際間光碟資料庫，完成金屬有機化合物物質安全資料中文修正範例，包括，三甲基鋁（(CH3)3Al），三甲基鎵（(CH3)3Ga），三甲基銦（(CH3)3In），三乙基鎵（(C2H5)3Ga），二茂鎂（CP2Mg），二甲基鋅（(CH3)2Zn），二乙基鋅（(C2H5)2Zn），肆（二甲胺基）鈦（[N(CH3)2]4Ti），肆（二乙胺基）鈦（[N(C2H5)2]4Ti），及二乙基碲（(C2H5)2Te）等。本文僅就（(CH3)3Ga）及三甲基銦內容摘錄加以說明。

關鍵字

金屬有機化合物 ； 物質安全資料表 ； 三甲基鎵 ； 毒性資料 ； 危害應變

並列摘要

Under the pressure of competitive marketing, high-tech electrical and photonics industry often take in-completed material safety data sheet (MSDS) for rapidly recognition of various emerging hazardous materials. The situation turned the industries into the dilemma of insufficient assessment of the environmental, safety and health (ESH) risks for these materials. In this current study, metal-organic chemical vapor deposition processing was selected from 20 high-tech factories including semiconductor, light emitting devices (LED) and solar cell industries. In order to establish comprehensive strategy for safety and health risk assessment, the applicability assessment has been conducted using 10 metal-organic compounds as examples such as: ((CH3)3Al), (CH3)3Ga, (C2H5)3Ga, (CH3)3In, CP2Mg, (C2H5)2Te, (CH3)2Zn, (C2H5)2Zn, Ti [N(CH3)2]4, and Ti [N(C2H5)2]4. Comparing 45 safety data sheets, the lacking of the toxic information of safety data sheets would be the most of concern from the needs in the related high-tech industries. The revisions of new metal-organic compounds' safety data sheets, with Globally Harmonized System (GHS) format, have also demonstrated that a brand new assessment process to modify insufficient safety information of emerging hazardous materials.

並列關鍵字

Metal-organic compounds ； Material safety data sheet ； (CH3)3Ga ； Toxic information

參考文獻

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