三維原子探針（3DAPT）分析技術簡介

Introduction of Analytical Technology of 3DAPT

湯永源

《國家奈米元件實驗室奈米通訊》 21卷4期 (2014/12) Pp. 2-7

摘要

目前所有的原子等級解析能力的量測儀器並無法同時提供結構與元素的訊息，但是材料分析科學與半導體工業卻急需有如此功能的量測儀器來幫助他們研究，尤其是下世代的半導體製程－鰭式場效電晶體（FinFET）已經跨進奈米等級，更是需要一個能提供原子等級解析能力的量測儀器來輔助相關的研究，此文章藉由三維原子探針技術的簡介與探討，提供研究人員一個新的技術去克服目前量測上的挑戰。

關鍵字

鰭式場效電晶體 ； 三維原子探針

並列摘要

The capability of existing advanced metrology tools is not able to provide both of structural and elemental information at the same time. However, in many areas of research in material science, there is an overwhelming demand for advanced metrology, especially in semiconductor research of FinFET structures. It is therefore, of extreme interest to develop a method that provides data with resolution at atomic level for detailed characterization. This article will introduce a 3D Atom Probe Tomography method to overcome current analytical limitations in the field.

並列關鍵字

FinFET ； 3D Atom Probe Tomography