高穩定度壓阻式壓力感測器之設計與分析

張文哲 ； 黃世疇

《工程科技與教育學刊》 2卷4期 (2005/12) Pp. 484-495

https://doi.org/10.6451/JETE.200512.0484

摘要

本研究主要是設計一新型的高穩定度壓力感測器，並利用有限元素分析(FEA)的方法對壓阻式壓力感測器之隔膜進行應力分析，並得到其應力分布。其中主要考慮因素有隔膜之邊長、厚度、中央凸塊的邊長。由分析的結果可以知道橫向應力及縱向應力之峰值分布，意即壓阻製作位置在其應力峰值區域。此外，隔膜邊長愈長或是厚度越薄，則其應力會越大，而凸塊大小會影響隔膜面積，具有凸塊結構的感測器可得到較多的應力峰值區域，可以減少感測器的非線性度。

關鍵字

壓力感測器 ； 壓阻 ； 有限元素分析