摘要
本研究使用奈米碳網製作感測器並應用於觸控面板上，該感測器為電阻式觸控面板，元件之製作以微機電系統（Micro-electromechanical Systems, MEMS）製程進行。奈米碳網為使用酒精催化化學氣相沉積法（Alchool Catalytic Chemical Vapor Deposition, ACCVD）成長之單壁奈米碳網，研究中將成長後之奈米碳網進行四線電阻式觸控面板與陣列圖形化觸控面板設計，並使用Parylene-C與PDMS作為封裝與基層，完成奈米碳網之薄型透明可撓性觸控面板感測器。最後進行觸控面板測試，量測觸壓元件之電壓變化，探討定位觸碰位置與觸控面板之線性度。文中並討論圖形化觸控面板之可形性，以及奈米碳網成長情形之影響。
延伸閱讀
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