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  • 期刊

氣體偵測系統尾氣偵測附屬機台數最佳化之研究-以某半導體廠房為例

摘要


近年來高科技廠房林立,高科技廠房所使用之有毒、有害氣體甚多,國內外也發生過多起氣體洩漏造成之人員中毒、火災等意外事故,因此對於有毒、有害氣體儲存、供應及反應完後之尾氣排放,無論在安全偵測、防護裝置、各廠都相當重視。 有鑑於此,氣體偵測系統對於安全維護扮演著很重要的角色。及時偵測到洩漏,可保障人員安全及環境污染、減少異味發生,提供員工一個良好的工作環境。由於產業競爭,各廠毛利下滑,因此對於製程供應及尾氣的監測佈點、必須考量氣體偵測系統建置成本,人員查漏費用,洩漏發生時處理時間,以達到氣體偵測系統佈點最佳化。

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被引用紀錄


趙哲偉(2014)。無塵室環境氣體偵測器佈點模式合理性探討-以某TFT LCD廠房為例〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2014.00544

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