本文主要目的在控制與測試一組加熱平台，應用於熱超音波覆晶接合機台上，以達到精準溫度控制。控制器是使用LabVIEW軟體，進行PWM參數的設計，類神經網路方面是使用MATLAB軟體，將量測到的數據進行運算，因加熱平台之加熱器將造成的時間延遲在此運用類神經網路來解決系統的時間延遲效應，並將實際系統運用於PC-Based控制，進而達到較好的熱誤差補償。實驗結果顯示，此設計溫度補償控制器可有效以達到精準溫度控制，本系統可以作爲熱超音波覆晶接合機台之加熱平台系統。
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