摘要
隨著近年超越摩爾定律的（More-than-Moore）的發展趨勢，微感測器與微致動器技術已經滲透應用至當今的生活周遭，在萬物皆連網的物聯網時代，甚至是近期開始啟用的第五代行動通訊網路（5G），藉由聯網速度與資料頻寬的提升，不僅能提升感測訊號的傳遞資料量與反應速度，進一步整合光機電傳感訊號與連網數據計算都已經成為目前發展的技術重點。本文將介紹目前部分光機電整合微感測模組的技術。以鼓勵國內有志於從事相關領域的產學研尖兵，能開始投入這具備高度發展潛力與挑戰性的產業。
關鍵字
無資料延伸閱讀
- Lin, Y. T. (2010). 新穎的光電模組於微波光電與光分碼多工之應用 [master's thesis, National Taipei University of Technology]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0006-0907201009380300
- 陳建人（2006）。光機電儀器系統整合應用。國研科技，(10)，8-10。https://doi.org/10.29659/NARLQ.200604.0002
- 林弘毅、方維倫（2000）。光學微機械的新發展。光學工程，(72)，9-20。https://doi.org/10.30011/OE.200012.0002
- 傅鶴齡、林津生（2009）。光譜辨視整合機電控制之可行性研究。華岡工程學報，(23)，155-160。https://doi.org/10.29987/CCUHKJE.200901.0019
- 李建宗（2006）。高密度波長分工多工系統內鐘型化光纖光柵的應用與分析〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0006-0708200623010900