高科技半導體廠下部結構工程概論

關於「高科技」的定義，國際經濟合作發展組織（OPED）將航太科技、藥品配製、電腦資訊機械、通訊器材等，做為高科技產業的範疇。而「半導體」則是台灣高科技製造業中，扮演世界供應鏈不可或缺的角色，其產業應用從3C電腦科技產品、行動裝置手機、平板到現今AI人工智慧運算、自駕車、5G通訊，打個比喻，水泥材料對於土木工程的重要性以及應用廣度，就如同半導體對於高科技產業的角色，台灣也因著半導體舉足輕重的地位，建立起矽屏障的實力。半導體廠則是涵蓋了晶圓生產設備機台以及高科技廠房設施，其中廠房設施則包含了建築、水電空調、管線設備、空汙水污處理、環境保護設施等，而本文主要介紹高科技半導體廠的下部結構工程，也就是整個半導體廠的起點，從一片素地，開始建造起一座高科技半導體廠。