X-ray 光電子能譜(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)被廣泛利用於材料化學組成分析。本文介紹應用高強度同步輻射(synchrotron radiation)為光電子能譜的激發光源,相較於傳統金屬靶產生的X-ray 光源,可大幅提高光電子能譜的訊號和解析度,並經由光子能量調選,增加光電子能譜對表面化學成份分析的靈敏度。另外,簡述我們利用同步輻射光為光電子能譜之光源,應用在表面化學的研究結果。
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