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Experiments on the Release of CMOS-Micromachined Metal Layers

Daniel Fernández ； Jordi Ricart ； Jordi Madrenas
《Journal of Sensors》 2010卷 (2010/12) Pp. 206-212
https://doi.org/10.1155/2010/937301
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被引用紀錄

林奕丞（2013）。CMOS-MEMS純金屬電極觸覺型電容式壓力感測器〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2013.01891

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