- 學位論文
有機薄膜電晶體之研製與分析
Fabrication and Characteristics of organic thin-film transistor
摘要
本論文中，我們以不同製程條件研製有機材料pentacene作為電晶體的載子傳遞層的有機薄膜電晶體，觀察pentacene薄膜的生長狀況，並量測分析有機電晶體的各項電特性。在高溫下pentacene成長有著較好的結晶性與較大的晶粒，同時也會提高載子移動率；而經由Octadecyltrichlorosilane (簡稱OTS, CH3(CH2)17SiCl3)處理閘極絕緣層界面的元件，儘管其pentacene晶粒較小，但除了臨界電壓會往負方向移動外，其他電特性諸如載子移動率，電流開關比，次臨界斜率都有明顯改善。綜合各項較佳製程條件，本論文中最好的有機薄膜電晶體其載子移動率為0.12 cm2/Vs，電流開關比約為106，次臨界斜率可達1.97 V/decade。
關鍵字
有機薄膜電晶體參考文獻
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