雙端固定石英振盪器研製

Study on the Fabrication of Double-ended Quartz Resonator

陳嘉明(Chia-Ming Chen)

指導教授 ： 周傳心

共同指導教授 ： 張簡文添

國立臺灣大學/工學院/應用力學研究所/碩士(2012年)

https://doi.org/10.6342/NTU.2012.01444

摘要

本文所探討的是以微機電製程在Z-cut低溫石英晶圓(α-Quartz)製作石英振盪器，並設計石英振盪器所需的光罩尺寸，以及電極層的陰影光罩，再利用微機電製程在石英振盪器上鍍上電極，並測量頻率，最後再討論如何改良製程以及減少可能發生的問題。

關鍵字

低溫石英,蝕刻速率,石英振盪器

並列摘要

The purpose of this thesis is to study Z-cut α-Quartz by using MEMS process technology to finish the quartz oscillator. We can design the size of mask for quartz oscillator and the shadow mask for electrode layer. We use MEMS process technology to evaporate metal on quartz oscillator ,and we test the frequency. Finally ,we will discuss how to improve our processes and reduce the problems which may be occur.

並列關鍵字

α-quartz,etch rates,quartz oscillator

參考文獻

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