單分子於奈米碳管生物感測器之研究

本論文嘗試利用奈米碳管電晶體做為生物反應平台，並結合全反射螢光顯微術進行蛋白質分子的即時量測與觀察。以對奈米碳管與生物分子之間的鍵結提供一個眼見為憑的驗證。並且從中找出單分子與奈米碳管電晶體電訊號的相互關係以及單分子造成訊號改變的可能原因。此外，本研究除了成功的嘗試利用一種具有磁性的新觸媒金屬--四氧化三鐵（Fe3O4）奈米顆粒成長奈米碳管。在製作奈米碳管電晶體方面，由於以往製作奈米碳管電晶體的觸媒金屬島只能使用成本昂貴且產量少的電子束曝光系統。但本論文突破其限制，成功的利用一般黃光製程所定義出觸媒金屬島，製作出可量產的奈米碳管電晶體。由於全反射螢光顯微術的主要原理是利用全反射所產生的漸逝波來激發表面的螢光分子，再藉由CCD擷取到所需要的螢光。因此光所通過的材料都必須具有高透明度、低厚度的基材，所以原先製作出矽底材的奈米碳管電晶體就無法達到需求。為此目的，本研究利用聚亞醯胺這種材料，在經過旋塗和蝕刻製程後，成功地將奈米碳管電晶體轉置到厚度僅有7 μm的透明聚亞醯胺基材上。並且利用4 ~ 5 %wt的草酸蝕刻氧化銦錫(ITO)玻璃，定義出可撓式奈米碳管電晶體所需的透明背電極以達到可同時觀測與量測的功能。最後，我們再利用微機電技術所製作出的PDMS微流道，利用氧化電漿(Oxide plasma) 整合到氧化銦錫(ITO)玻璃上成為一個完整的生物晶片，並且藉由幫浦(switch pump)控制生物分子流入流道的時間。在成功製作出奈米碳管電晶體後，經過量測奈米碳管電晶體電訊號後，發現本研究的奈米碳管具有p-type電晶體的特性，該訊號的開關比（ON/OFF ratio）高達103。另外，在經過轉置後的可撓式奈米碳管電晶體，量測後也發現雖然所需的閘極電壓較大，但仍具有電晶體的特性表現。在觀測蛋白質分子與奈米碳管鍵結的影像捕捉方面，本研究也成功的利用cytoviva TM 150觀察到奈米碳管的外型，並且再流入與量子點鍵結的鏈黴卵白素(strepavidin)後，成功地利用全反射螢光顯微鏡觀測到蛋白質分子與奈米碳管的影像。

關鍵字

單分子；奈米碳管；奈米碳管電晶體；奈米碳管生物感測器；全反射螢光顯微術

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single molecule ； carbon nanotube(CNT) ； carbon nanotube field effect transistor (CNTFET) ； carbon nanotube biosensor ； TIRFM

參考文獻

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