低驅動電壓之熱致動微元件

Micro Thermal Actuator Characterized with Low Driving Voltage

林岳正(Yue-Jheng Lin)

指導教授 ： 楊龍杰

淡江大學/工學院/機械與機電工程學系碩士班/碩士(2007年)

https://doi.org/10.6846/TKU.2007.01184

摘要

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關鍵字

聚-對二甲苯 ； 致動器 ； 熱挫曲 ； 微幫浦 ； 微螺旋

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並列關鍵字

parylene ； thermal-buckled ； valve-less pump ； actuator

參考文獻

44. 林岳正等人，“次毫米微幫浦之製作與量測”，第十屆奈米工程暨微系統技術研討會，2006年12月。

1. Tang, C. William., Lim, G. Martin, Howe, T. Roger, “Electrostatic comb drive levitation and control method,” Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 1, No. 4, pp.170-178, 1992.

2. V. P. Jaecklin, C. Linder, N. F. de Rooij, J. M. Moret, “Micromechanical comb actuators with low driving voltage,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 2, No. 4, pp.250-255, 1992.

3. C. H. Kim, Y. K. Kim, “Micro XY-Stage Using Silicon on a Glass Substrate,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 12, pp.103-107, 2002.

4. H. Xie, L. Erdmann, X. Zhu, K. J. Gabriel, G. K. Fedder, “Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures,” Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 11, No. 2, pp.93-101, 2002 .