利用超音波噴霧法製作具有超薄氧化物中間層之ZnO/Si光偵測二極體及其磁光特性之研究

Magneto-Optical Properties of ZnO/SiO2/Si structure Photodiodes Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis

呂牧穎(Mu-Yin Lu)

指導教授 ： 陳隆建

國立臺北科技大學/電資學院/光電工程系研究所/碩士(2009年)

https://doi.org/10.6841/NTUT.2009.00091

摘要

為了增強光偵測器在紫外/藍光區域間的響應度，本研究使用p-ZnO/SiO2/n-Si之異質結構的感光二極體，使用超音波噴霧熱解法以氮-銦共同摻雜出p-type之氧化鋅薄膜，將它沉積在(100)方向之矽基板。在外加強磁場時，光電流會提高一個級數的大小，發生此現象最主要是因為磁場會誘發光電流的產生，而這也就是證明了外加磁場能提高光偵測二極體的光電留。光響應度在吸收邊緣具有一9.03meV的藍位移，波長由370nm偏移至371nm，而藍位移的發生主要來自於Laudau分裂的產生。

關鍵字

氧化鋅 ； 超音波噴霧熱解法 ； 光偵測二極體 ； 磁光特性 ； 藍道分裂

並列摘要

We present a photodiodes with a p-ZnO/oxide/n-Si structure in a magnetic field. The N-In codoped p-type ZnO films were deposited by ultrasonic spray pyrolysis on a (111)-oriented silicon substrate with an ultrathin oxide layer. When the p-ZnO/oxide/n-Si structure photodiode was placed in a strong magnetic field, the total current under illumination was enhanced about one order. This may results mainly by the magnetic field-induced photocurrent. An absorption tail of the responcivity shift from 371 to 370 nm, and a blue shift about 9.03 meV was observed. This shift is attributed to the Landau splitting.

並列關鍵字

ZnO ； spray pyrolysis method ； magnetic field-induced current ； Landau splitting

參考文獻

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