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  • 學位論文

奈米孔隙介電層之無電鍍鈷磷薄膜生長暨自組裝單層自身阻障效應

Electroless plating of Co-P thin films and self-assembled monolayers used as barrier layers of nanoporous dielectric layers

指導教授 : 陳錦山
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吳定曄(2015)。氮化鉭阻障層之新式晶種模板在無電鍍銅膜與導線製程之應用〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0123171

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