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學位論文
奈米孔隙介電層之無電鍍鈷磷薄膜生長暨自組裝單層自身阻障效應
Electroless plating of Co-P thin films and self-assembled monolayers used as barrier layers of nanoporous dielectric layers
陳峻偉(Chun-wei Chan)
指導教授 :
陳錦山
逢甲大學/理學院/材料科學與工程學系/碩士(2015年)
https://doi.org/10.6341/fcu.M0150354
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p-SiOCH介電層
;
羥基化
;
自組裝單層
;
擴散阻障層
並列摘要
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並列關鍵字
p-SiOCH dielectric
;
Hydroxylation
;
Self-assemble monolayer
;
Diffusion barrier layer
被引用紀錄
吳定曄(2015)。
氮化鉭阻障層之新式晶種模板在無電鍍銅膜與導線製程之應用
〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0123171
Airiti Library
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DOI
延伸閱讀
卓安祺(2020)。
電化學輔助表面改質超薄鉭膜之自組裝單層 暨無電鍍銅膜生長與阻障性評估
〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0406099
Lin, T. Y. (2019).
無缺陷單晶銅奈米線成長機制與電子束輻射表面改質機制之研究
[doctoral dissertation, National Chiao Tung University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0030-0306202016360606
謝馨儀(2006)。
氣相式奈米自組裝單分子膜應用於生物晶片表面之生醫分子鍵結阻絕
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-1303200709263823
Lai, C. H. (2012).
層與層自組裝奈米複合阻氣薄膜之交聯與阻氣機制研究
[master's thesis, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2012.01554
Tseng, M. H. (2016).
Atomic Layer Deposition of Nano-laminated Films for use as Flexible and Stretchable Gas Barrier, Dielectrics, and Conductors
[doctoral dissertation, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU201601163
國際替代計量
奈米孔隙介電層之無電鍍鈷磷薄膜生長暨自組裝單層自身阻障效應
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