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  • 學位論文

自組裝單層衍生全程濕式銅金屬化在直通矽穿孔之應用

Feasibility of Using Self-assembled Monolayers to Derive All-wet Copper Metallization for Through-Silicon Vias (TSVs)

指導教授 : 陳錦山
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被引用紀錄


李峻廷(2016)。全濕式無電鍍銅金屬化於直通矽穿孔之完全填充展示〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0311450

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