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學位論文
自組裝單層衍生全程濕式銅金屬化在直通矽穿孔之應用
Feasibility of Using Self-assembled Monolayers to Derive All-wet Copper Metallization for Through-Silicon Vias (TSVs)
鄭郁勳
指導教授 :
陳錦山
逢甲大學/理學院/材料科學與工程學系/碩士(2015年)
https://doi.org/10.6341/fcu.M0225663
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直通矽穿孔(TSV)
;
TSV填充
;
三維積體電路
;
無電鍍金屬阻障層
;
無電鍍晶種層
;
無電鍍銅導線
;
自組裝單層
被引用紀錄
李峻廷(2016)。
全濕式無電鍍銅金屬化於直通矽穿孔之完全填充展示
〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0311450
Airiti Library
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DOI
延伸閱讀
李峻廷(2016)。
全濕式無電鍍銅金屬化於直通矽穿孔之完全填充展示
〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0311450
曾凱威(2018)。
溼式蝕刻矽基板上直流磁控濺鍍氮化鋁薄膜特性研究
〔碩士論文,中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu201800810
吳庭孝(2012)。
利用快速熱熔再結晶法製作金半金結構之面收型鍺紅外光光子偵測器於矽基板上
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0908201218152724
Chen, C. F. (2008).
Study on Plasmonic Properties of Colloidal Nanoparticles Controlled by Self-Assembled Monolayers
[doctoral dissertation, National Tsing Hua University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0903200911353619
Chen, C. F. (2008).
Study on Plasmonic Properties of Colloidal Nanoparticles Controlled by Self-Assembled Monolayers
[doctoral dissertation, National Tsing Hua University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-2002201314310150
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